कंप्यूटर, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स और सूचना प्रौद्योगिकी के विकास के साथ, इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योग के तेजी से विकास को बढ़ावा मिला है, और क्लीनरूम तकनीक के विकास को भी बढ़ावा मिला है। साथ ही, क्लीनरूम के डिज़ाइन के लिए उच्च आवश्यकताएँ रखी जाती हैं।

इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योग में क्लीनरूम का डिज़ाइन एक व्यापक तकनीक है। इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योग की धूल-मुक्त कार्यशाला की डिज़ाइन विशेषताओं को पूरी तरह से समझकर और उचित डिज़ाइन प्राप्त करके ही इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योग की उत्पाद दोष दर को कम किया जा सकता है और उत्पादन दक्षता में सुधार किया जा सकता है।

इलेक्ट्रॉनी क्लीनरूम की विशेषताएँ

सफाई स्तर उच्च होना आवश्यक है। हवा की मात्रा, तापमान, आर्द्रता, दबाव अंतर, और उपकरण निकास को मांग के अनुसार नियंत्रित किया जाता है। रोशनी और क्लीनरूम अनुभाग हवा की गति को डिज़ाइन या विनिर्देशों के अनुसार नियंत्रित किया जाता है। इसके अलावा, इस प्रकार के क्लीनरूम में स्थैतिक बिजली के लिए अत्यंत कड़े नियम होते हैं। उनमें से, आर्द्रता की आवश्यकताएँ विशेष रूप से गंभीर हैं, क्योंकि अत्यधिक सूखे प्लांट में स्थैतिक बिजली आसानी से उत्पन्न होती है, जिससे सीएमओएस एकीकरण को नुकसान हो सकता है।

1. आम तौर पर, तापमान इलेक्ट्रॉनी क्लीनरूम को लगभग 22℃ पर नियंत्रित किया जाना चाहिए, और सापेक्ष आर्द्रता को इसके बीच नियंत्रित किया जाना चाहिए 50-60% (विशेष स्वच्छ कार्यशालाओं में प्रासंगिक तापमान और आर्द्रता नियम होते हैं)। इस समय, स्थैतिक बिजली को प्रभावी ढंग से समाप्त किया जा सकता है और लोग सहज महसूस करते हैं।

2. चिप क्लीनरूम, एकीकृत सर्किट क्लीन रूम और डिस्क विनिर्माण कार्यशालाएँ इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण उद्योग में क्लीन रूम के महत्वपूर्ण घटक हैं। चूँकि इलेक्ट्रॉनिक उत्पादों के विनिर्माण और उत्पादन प्रक्रिया के दौरान इनडोर वायु वातावरण और गुणवत्ता पर अत्यधिक कड़े नियम होते हैं, मुख्य वस्तुएँ कणों और तैरती धूल का नियंत्रण होती हैं। साथ ही, पर्यावरण के तापमान और आर्द्रता, ताजी हवा की मात्रा और शोर पर कड़े नियम बनाए गए हैं।

3. इसमें शोर का स्तर (खाली स्थिति) 10,000-श्रेणी के इलेक्ट्रॉनिक विनिर्माण प्लांट के क्लीन रूम में: 65dB(A) से अधिक नहीं होना चाहिए।

4. इलेक्ट्रॉनिक्स निर्माण संयंत्र के साफ कमरे (क्लीनरूम) का लंबवत प्रवाह पूर्णता अनुपात इससे कम नहीं होना चाहिए 60%, और क्षैतिज एकदिश प्रवाह साफ कमरा इससे कम नहीं होना चाहिए 40%, अन्यथा यह आंशिक एकदिश प्रवाह होगा।

5. इलेक्ट्रॉनिक्स निर्माण संयंत्र के साफ कमरे और बाहर के बीच का स्थैतिक दबाव अंतर 10Pa से कम नहीं होना चाहिए, और विभिन्न वायु स्वच्छता वाले साफ क्षेत्र और गैर-साफ क्षेत्र के बीच का स्थैतिक दबाव अंतर 5Pa से कम नहीं होना चाहिए।